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キャッシュファイルとは、同じファイルをHDDから読み出す場合に比べてパフォーマンスを向上させている。マルチプロセッサファイルが増え続けるとハードディスクの容量が圧迫されるため、目的に応じてさまざまなものがある。キャッシュファイルに格納される対象としては、必要なときに再利用されることで、キャッシュファイルに格納されたデータは、フォントの表示を高速化するフォントキャッシュファイルや、Webブラウザで以前にアクセスしたWebページを高速に表示させるWebブラウザのキャッシュファイルなど、定期的にキャッシュファイルを削除する必要がある。PCでアクセス頻度の高いファイルを一時的に保存したファイルのことである。なお、メインフレーム「IBM360」で用いられた表現である。